行程范围:X轴:500 mm Y轴:600 mm Z轴:400 mm.结构型式:活动桥式.传动方式:柔性同步齿型带+预载荷高精度空气轴承.长度测量系统:RENISHAW(英国)开放式光栅尺,分辨率为0.5μm.机台:高精度花岗岩平台.使用环境:温度(20±2)℃,湿度55%-65% ,温度梯度1℃/m,温度变化 1℃/h.空气压力:0.4 MPa - 0.5 Mpa.空气流量:100 L/min – 120 L/min.整机尺寸:1.6 m X 1.2 m X 2.0 m.机台承重:1000 kg.整机重量:1500 kg.