1、电子枪：灯丝直径：Φ0.15～0.17mm高纯钨丝

2、直流高压电源：0～30KV可调；稳定度：每8小时小于0.02%；

3、衍射管：

Φ70mm×410mm 采用高真空腔室焊接，清洗工艺； 

腔体漏率：小于5.0×10^-10Pa/m3/s。

4、荧光屏尺寸：直径φ68mm

5、真空镀膜：真空腔体φ100×130mm（H），304不锈钢腔体，

6、真空系统：采用复合分子泵+直联旋片泵二级无油高真空抽气系统。

6.1 分子泵额定转速：72000rpm；压 缩 比 （N2）：＞1×10⁹；

6.2 DRV-10 双极油旋片泵：抽气速率：9.9m³/h，极限压力：5×10^-1 Pa；

6.3 真空阀门及抽气管道，品牌：HTC。

7、 真空测量：

宽量程数显真空计，采用“一低一高”全量程数显复合真空计，测量范围：1×10⁵～1×10^-5Pa；

8、极限真空：优于8×10^-5Pa（连续烘烤除气24小时）；

9、恢复真空：从大气抽到6.7×10^-4Pa≤45min；

10、衍射环数据：

对金、银等多晶样品，可以清晰观察到5个衍射环；

11、样品台：样品台平移距离15mm，一次可装样品5个；

12、控制方式：采用10.4英寸电容式液晶触摸屏，64K真彩色显示。

 

1、了解最基本的真空系统的结构，掌握真空系统的操作方法；

2、了解真空技术的基本知识,学习真空系统的基本方程；

3、掌握高真空的获得、测量的基本原理及方法；

4、机械泵抽速测定；

5、扩散泵抽速测定；

6、系统漏率的测定。

1、实验仪主要由真空储气瓶、玻璃油扩散泵、真空测量仪表、高真空阀门、流导调节管、电控系统等组成。

2、设备的真空室、油扩散泵、真空管路部件均可视化设计；

3、电气控制有安全防护，防止误操作对人员和设备造可成损伤；

4、采用不锈钢、真空波纹管结合管路，阀门为316L不锈钢高压双卡套球阀。

1、真空储气瓶：304不锈钢，尺寸：约Φ200×480mm容积约15L；

2、真空测量：数显复合真空计，电阻规+电离规；   

测量范围：10⁵～10^-5 Pa 数量：2套；

3、真空系统：DRV10双极旋片泵+四级玻璃扩散泵， 扩散泵需水冷；

4、极限真空：5×10^-3Pa；

5、3组流导调节管路，组成三种不同的抽气流导，

6、工作电源：AC220V±5%  50Hz；

7、整机功率：2kW；10A插座或16A空气开关；

8、机架：铝合金型材机架；

9、用户需自备或另购工业水冷机组（选配件）。

Table PVD-15A

用于蒸镀有机物或金属，可沉积金属（Au，Ag，Al，Ca， Cu， Mg，Fe， Cr，Ni 等）、非金属、化合物（ Mo03, LiF 等）及有机物材料。可配套磁光效应实验仪，用于测量制备材料（如镍）的磁光克尔效应。

1、薄膜沉积室： 约Φ250×H300mm，304不锈钢腔体；

2、抽气系统：采用复合分子泵+直联旋片泵作为真空抽气系统；

3、真空测量范围：1×10⁵～1×10^-5Pa；

4、系统性能指标：极限真空度优于6.7×10-5Pa；恢复真空从大气抽至6.7×10^-4Pa≤45min，真空室漏率：关机12小时真空度≤5Pa；

5、样品台：最大可装载3英寸样品（样品盘直径约80mm，方片尺寸60×60mm），样品台旋转：转速0-30rpm连续可调；样品台背板直接水冷形式，基片台采用无氧铜；

6、热蒸发单元：水冷紫铜电极3根组成2组蒸发舟；可自由更换为舟式源（钨舟、钼舟）、挂丝源（钨绞丝、钨篮）或坩埚源（用于有机材料和粉状材料的蒸发）；配电动控制挡板组件；可蒸发金属：Au，Ag，Cu，Ni，AL（采用陶瓷坩埚）等低熔点金属；

7、蒸发电源： 10V200A稳流电源，电流调节精度0.1A；

8、控制单元：手动按钮继电器逻辑控制，完善的程序互锁，完备的防误操作设计及保护，系统缺水、过流过压等异常情况进行报警并执行相应保护措施，以方便用户进行镀膜工艺参数的摸索；

9、电源电压：AC220V 50Hz；功率：约3KW；

10、选配件：工业水冷机、膜厚仪等。

120000

DH-KE-1

1、了解表面磁光克尔效应产生的原理；

2、测量表面磁光克尔效应的偏转角曲线。

1、光学实验台：台面尺寸：900mm×1200×100mm，孔距25×25mm；带80阻尼搁置支架；

2、电磁铁：磁隙中心宽度：0～50mm连续可调，在精密恒流电源0～10A输入和磁隙间距10mm时磁场可调范围0～1000mT；电磁铁带可旋转底座，角度0～360°可调；

3、半导体激光器：输出功率：2mW左右，中心波长：650nm，最小光斑直径：1mm左右，带二维调节架；

4、偏振棱镜：格兰-汤普逊棱镜，通光孔径8mm；THORLABS精密棱镜调节架，外盘分辨率：1°；外盘转动量程：0～360°；千分尺角度调节范围：±7°，千分尺角度测量分辨率：0.04°；

5、磁场信号测量范围-1.999～1.999V，分辨率0.001V，磁场信号增益和输出电平可以调节，带磁场信号输出接口，用于数据采集器自动采集磁场大小；

6、克尔信号测量范围-1.999～1.999V，分辨率0.001V；带克尔信号输出接口，用于数据采集器自动采集磁场大小；

7、电磁铁控制电源：带手动和自动工作模式，手动模式励磁电流可调范围-10.00～10.00A，分辨率0.01A；自动模式下，励磁电流的大小和方向由数据采集器控制；

8、数字特斯拉计：量程0.0～0.999T，分辨率0.1mT；量程1.000～2.000T，分辨率1mT；

9、克尔探测光功率范围：2μW～2mW四档量程，数显，最小分辨率0.001μW；

10、数字光功率计：0～39.99mW，自动量程，波长520nm、633nm、650nm、780nm可选择；

11、凸透镜Φ30，f=150；

12、可调光阑：Φ1～Φ12可调； 

13、激光电源0～5V可调；

14、数据采集器：由电磁铁控制DA和换向控制输出以及双通道AD采集器组成，AD采样最小分辨率0.1mV，计算机接口采用串口转USB；

15、计算机数据采集软件一套，软件可设置励磁电流采集范围，自动采集磁性材料表面磁光克尔信号与磁场关系曲线，并能保存和查看数据；

16、计算机（用户自备）。

150000