型 号 最小可检漏率Pa.m^3/s
ZLS-23B 2·10^-11
ZLS-24B 2·10^-11
ZLS-24C 2·10^-11

主要特点 油扩散泵型

仪器介绍 氦质谱检漏法是根据质谱分析的原理，以氦作探索气体，对各种需密封的容器的漏隙进行快速定位和定量检测的理想的方法。因氦是隋性气体，对大气无污染，使用安全；氦原子量小、粘度小，易渗透过任何可能存在的漏率，检测灵敏度高、速度快、适用范围广；加之氦在大气中含量少（仅万分之五），离子质量与其它气体离子质量相差很大，不易受干扰，不会错判。氦质谱检漏法是根据质谱分析的原理， 以氦作探索气体，对各种需密封的容器的漏隙进行快速定位和定量检测的理想的方法。因氦是隋性气体，对大气无污染，使用安全；氦原子量小、粘度小，易渗透过任何可能存在的漏率，检测灵敏度高、速度快、适用范围广；加之氦在大气中合量少(仅万分之五)，离子质量与其它气体离子质量相差很大，不易受干扰，不会错判.与当今诸多检漏方法(如气泡法、卤素检漏法等)相比，它是佼佼者。
ZLS-26D/T型氦质谱检漏仪是新型的全功能氦质谱检漏仪，机内采用涡轮分子泵作主排气机，启动快(仅五分钟即可使用)。仪器可以在测试口压强近似大气时，采用逆扩散方式进行检漏， 也可以在测试口压强为50Pa以下时采用常规方式进行检漏；用常规方式检漏时，可以在分流状态下检较大的漏隙(测试口压强在50-10-1Pa)，也可以在不分流状态下检微小的漏隙(测试口压强在10-1Pa以下) 。仪器测量范围可达2×10-1-2×10-12Pa·m3/s。仪器采用光柱和数码管直接显示漏率，且可按需要选用适当的漏率单位(仪器已给出四种常用单位Pa·m3/s、Torr·L/s、mbar·l/s、atm·cc/s)，读数方便，仪器有音响报警装置，报警点可以任意设定，使用方便。本仪器适用于工厂车间和实验室对各种零部件作喷氦法(真空检漏法)、吸氦法(压力检漏法)、背压法检漏。其中ZLS-26D型军品已通过二炮验证，开始批量为其专供配套。
技术指标
仪器最小可检漏率：优于5-10-12Pa-m3/s
仪器最大可检漏率：2×10-1Pa-m3/s
仪器漏率显示范围：2×10-1-2×10-13Pa-m3/s
仪器的反应时间：不大于3s
仪器质谱室允许工作的最高压强：1×10-2Pa
仪器测试口允许工作的最高压强：1000Pa
被检件由粗抽至检漏的自动切换点(检漏点)可调范围：50-10-1Pa
音响器报警点设定范围：任意
背压法检漏时间可调范围：5-30s
仪器的启动时间：不大于5min
仪器的轮廓尺寸：640×550×980mm3
仪器的重量：约75Kg
技术性能
氦质谱检漏仪对比 型 号 最小可检漏率Pa·m3/s 反应(清除)时间 s 读数方式特 点
ZLS-23B 2·10-11 ＜3 表头(mV) 单主机，带标准漏孔
ZLS-24B 2·10-11 ＜3 表头和数字(量程自动切换) 带一套粗抽系统(泵2XZ-4B)，适用于各种检漏方法，带标准漏孔
ZLS-24C 2·10-11 ＜3 表头和数字(量程自动切换) 带二套粗抽系统适用于批量检漏，带标准漏孔
ZLS-26D/T 5·10-12 ＜3 数字直读涡轮分子泵(德国莱宝50型) 前级泵(日本真空GLD030) 粗抽泵(英国EDWARDERV12)，带标准漏孔