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被测对象:3mm以下的SMD晶体 精度:大泄漏至1×10-9Pa•m3/sec 处理能力:MSX-5065(6ch)2秒/个(合格品判定时) MSX-5085(8ch)1.2秒/个(合格品判定时) 压氦时间:60分钟 放置时间:5分钟(由被测物的内容积决定) 可以控制冲氦和保压时间
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