移动镜行程为100mm;
微动手轮分度值为0.0001mm;
波长测量精度:当条纹技术为100时,测定单色光波的相对误差<2%;
导轨直线性误差为±16
分光板、补偿板的平面度为λ/20;
移动镜、参考镜的平面度为λ/10,采用二维调节。
注:WSM100A迈克尔逊干涉仪同上,包括法布里─珀罗多光束干涉系统。
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XA10653