ZLS-26D/T型系列氦质谱检漏仪是全功能氦质谱检漏仪，有普通配置型、也有计算机控制配置型，有单口型、也有双口型，采用德国莱宝涡轮分子泵作主排气机，辅助系统采用英国爱德华机械泵排气，启动快（不到五分钟即可使用）。仪器可以在测试口压强近似大气时，采用逆扩散方式进行检漏，也可以在测试口压强为50Pa以下时采用常规方式进行检漏；用常规方式检漏时，可以在分流状态下检较大的漏隙（测试口压强在50～1 Pa），也可以在不分流状态下检微小的漏隙（测试口压强在10-1Pa以下）。仪器测量范围可达2×10-1～2×10-12 Pa·m3/s。仪器采用光柱和数码管直接显示漏率（也可以通过笔记本电脑控制并显示），且可按需要选用适当的漏率单位（仪器已给出四种常用单位Pa·m3/s、Torr·L/s、mbar·l/s、atm·cc/s）,读数方便,仪器有音响报警装置，报警点可以任意设定，使用方便。本仪器适用于工厂车间和实验室对各种零部件作喷氦法（真空检漏法）、吸氦法（压力检漏发）、背压法检漏。

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